長年にわたり培ってきた光学センシング技術と画像処理技術を軸に、優れた制御技術を組み合わせて誕生した検査測定装置。独自の3次元計測技術と高速高分解能画像検査技術が、半導体デバイス製造、各種電子部品の精密検査分野において高い評価を得ています。